專注高端激光切割機(jī)
研發(fā)、生產(chǎn)、咨詢、銷售
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專注高端激光切割機(jī)
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全自動(dòng)雙軸晶圓刬片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光極管、D0芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切，適用于包括硅、石英、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。
全自動(dòng)雙軸晶圓刬片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光極管、D0芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切，適用于包括硅、石英、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn)，將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行割或開槽機(jī)型實(shí)現(xiàn)了晶圓從裝片、對準(zhǔn)、切割、清洗到卸片的自動(dòng)化操作該機(jī)型配置了大功率對向式雙主軸，Z1和Z2軸上都配置了N0S和專用顯微鏡，大幅度減少對準(zhǔn)和檢查時(shí)間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。
自動(dòng)化程序著提升；
高剛性龍門式結(jié)構(gòu)；
友好人機(jī)交互界面；
滿足各種加工工藝需求；
T軸旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達(dá)；
進(jìn)口超高精密滾珠型絲桿；
CCD雙鏡頭自動(dòng)影像系統(tǒng)；
進(jìn)口超高精密級滾柱型導(dǎo)軌；
18KW(24KW可選)大功率直流主軸；
工件形狀識(shí)別功能,更加友好人機(jī)界面；
NCs非接觸測高,BD刀破損檢測,自動(dòng)修磨法蘭功能；
自動(dòng)對焦功能,具有Cs割功能,具有在線刀痕檢測功能；
采用進(jìn)口研磨級超高精密滾珠絲杠定位精度可達(dá)2pm全行程；
瑞士進(jìn)口滾柱導(dǎo)軌,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線度,實(shí)測09；
Lx6366型雙軸晶圓切割機(jī)為12英寸全自動(dòng)動(dòng)精密劃片機(jī)，彩用高精密進(jìn)主要配件,T軸采用DD馬達(dá),重復(fù)精度1納米穩(wěn)定性極強(qiáng),兼容6”12啉材料,雙0CD視覺系統(tǒng),性能達(dá)到業(yè)界一流水平。
設(shè)備工作流程:
1、下取物臂將切割完成的材料放回預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行預(yù)校準(zhǔn),再推回晶片盒中；
2、上取物臂從工作盎將切割完成的材料移動(dòng)到情洗盤進(jìn)行二流體清洗和晶片干燥；
3、下取物臂將待切割材料從晶片盒中,將待切割材料放置到預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行預(yù)校準(zhǔn)再送到工作盤上,進(jìn)行劃片作業(yè)；
1、工廠具有防水性底板；
2、室內(nèi)溫度20-25度；溫度變化不于±1度；
3、請將切削水及冷卻水的水溫為室溫±2度；水溫控制在室溫波動(dòng)范圍1度；
4、避免把設(shè)備放置在有震動(dòng)的工作環(huán)境工作，遠(yuǎn)離鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口高溫裝置、油污等環(huán)境；
5、請使用大氣壓水汽結(jié)露點(diǎn)5C,油殘存不大于0.1ppm過濾度01pm99.5%以上的潔凈壓縮空氣；
139-2342-9552
